839 最后的戰役(二)
滬市，張江技術園區。
中微半導體總部的四周，布置了密密麻麻的電網和監控器，安保力量更是配備齊全。
一座不起眼的工廠里，沙領導、鄭韓等一眾領導，在陸飛的帶領下，來到車間外。
隔著玻璃窗，就能看到一個巨型公交車大小的光刻機，身穿防塵服的工作人員正在操控這樣的龐然大物，一個工作臺完成掃描曝光的同時，另一個工作臺也進行對準、調焦、下片等行動。
“因為芯片制造的過程中，并不是一次曝光就可以完成，而是需要經歷多次曝光。”
“在曝光完一個區域之后，放置硅晶圓的曝光臺就必須快速進行移動，接著曝光下一個需要曝光的區域，想要在這么多次快速移動中實現納米級別的對準，雙工作臺就必須做到精度高而且操作時間短，這項技術本來只有ASML有，但現在已經被我們突破了。”
陸飛滔滔不絕，如數家珍。
領導們一言不發，目不轉睛地盯著運行中的光刻機，雖然不是第一次見到光刻機，但一想到這是第一臺國產的DUV浸潤式光刻機，都壓不住激動的心情，盡可能地往前靠，想湊得更一些，看得更清楚一些。
“了不起啊，小陸，你們了不起啊。”
沙領導滿意道：“我記得是7年前還是8年前，也是在這里，你讓我看的是65nm干式光刻機，還向我保證絕對能搞出屬于我們自己的國產的浸潤式光刻機，我本來以為要花10年甚至更長的時間，沒想到你給了我們一個大大的驚喜啊！這么快讓你們搞出來了！”
“哪里，哪里，領導。”
陸飛露出謙虛而內斂的笑容。
“說說吧，到底是怎么搞出來的？”
沙領導眼里滿是贊賞之色。
“其實這并不是邏輯和中微兩家的功勞，我們只負責整體的統籌調度和集成研發。”
陸飛笑道：“DUV浸潤式光刻機能成功，完完全全歸功于參與到整個項目的全體員工、科研人員們，是他們的血汗和信念，才有了今天的光刻機，當然也離不開領導們的支持，地方上的政策，還有相關公司、院校、國企單位的合作。”
頓了頓，“可以說，這臺DUV浸潤式光刻機凝結了華夏半導體從業人員的智慧和野心，也代表著目前國內光刻機的最高水平，距離國際一線的EUV光刻機，只有一代的代差了。”
“生產7nm的良品率是多少？”
鄭韓臉上掛著得意的笑容。
畢竟，如此國之重器出自張江技術園區，滬市毫無疑問當得上“華夏半導體之都”。
“不同的芯片不同的良率，但基本能穩定在70，慢慢調試改進，可以達到80。”
陸飛比比畫畫道：“完全可以比肩AMSL，只用4個光罩、4次曝光，就可以達到7nm制程工藝。”
沙領導問道：“現在邏輯和華為的手機用的都是7nm制程工藝的芯片對嗎？”
陸飛點了下頭，“沒錯，7nm是目前市面上最先進的制程工藝，不過根據摩爾定律，再過個一兩年，就可能突破到5nm。”
“5nm是不是就需要EUV光刻機了？”
鄭韓好奇道。
“有EUV光刻機固然是好，只要一次曝光，一個光罩就能實現7nm、5nm，但沒有EUV光刻機也無妨，有這臺DUV浸潤式光刻機也可以做到。”
陸飛露出個看似輕松的笑容。
“喔？”
頃刻間，一眾領導的目光齊聚于他。
“梁博士想到的方案，如果把光刻機極限使用，經過6個光罩，9次曝光，也可以實現5nm工藝。”陸飛直截了當地回答。
一個戴著玳瑁眼鏡的領導擔憂道：“光刻機這么極限使用，會不會影響到使用壽命？”
“還有良率。”
“是啊，經過這么多道曝光，任何一道工序失敗，都可能滿盤皆輸，成本就上來了…”
領導們來回分析，議論紛紛。
陸飛只能一一回答，“損害壽命肯定會損害，良率低也肯定會低一些，成本自然也就會高一點，但這是沒有辦法的辦法，目前EUV光刻機國產化要實現徹底突破，還有不少技術難題擺在面前，需要時間去攻破。”
“比如呢？”
沙領導投去問詢的目光。
“光刻機的技術難點主要集中在光源、反射鏡、工作臺，現在雙工作臺已經解決了，光源問題也突破了，就剩下物鏡系統。”
陸飛直說道：“AMSL、尼康的光刻機用的是蔡司的技術，但蔡司愿意賣給AMSL、尼康，但絕對不會出口給我們。”
然后嘆了口氣，“沒辦法，我們只能從零開始，聯合長春光機、徠卡、華為等聯合研發，現在搞定了DUV浸潤式的物鏡系統，至于EUV的，恐怕需要很長一段時間。”
“那這期間，復芯、中芯的晶圓代工，有沒有可能會被臺積電、英特爾的差距拉大？”
鄭韓皺了皺眉。
“肯定會，但好在情況并不糟糕。”
陸飛笑道：“雖然5nm是目前我們的極限，理論上而言，臺積電、英特爾、三星這些有EUV光刻機的，制程工藝甚至可以沖擊到1nm，但得到的回報并不會太高。”
不少領導感到奇怪，“為什么這么說？制程工藝難道不是越先進越好嘛？”
“理論上是這樣，但事實是現在全球智能機領域已經有‘性能過剩’的趨勢，搭載5nm芯片的手機體驗，未必就不如3nm，就會讓3nm及以下工藝陷入一種尷尬的地步，飆升的成本卻只得到微弱的性能提升。”
陸飛嘿然一笑，“反倒是28nm、14nm和7nm這三個節點的工藝才是市場主流，特別是我們國內絕大部份的芯片需求，所以有了國產的DUV浸潤式光刻機，基本可以保證我們不會也不怕被卡脖子，也能保證支撐到我們研發出EUV光刻機的那一天。”
眾人兩兩相望，相視一笑。
確實，28nm是集成電路產能中劃分中低端跟中高端的分界線。
除了對功耗要求比較高的CPU、GPU、AI芯片外，其余的工業級芯片用的都是28nm以上的技術，比如電視、空調、汽車、高鐵、火箭、衛星、工業機器人、電梯、醫療設備、智能手環、無人機…
但現在，7nm，甚至不計任何代價，極限可以推到5nm，簡直是綽綽有余。
“你們在資金上、政策上、人才上，或者在其他方面，有沒有什么需要我們解決的？”
沙領導慈眉善目。
陸飛也不客氣，立馬張口。
一個敢提，一個敢接。
“我還有個提議，希望領導們能支持。”
“說。”
“是這樣，邏輯這些年一直跟水木大學開展了比較另類的秘密項目，那就是研究直接跳過光刻機，建立光刻廠和光刻車間。”
“光刻廠和光刻車間？！”
沙領導、鄭韓等人或多或少感到驚訝。
“對，安裝和調試一臺DUv光刻機需要至少一年的時間。”陸飛一本正經說，“而如果直接造光刻廠，把光刻機的整個供應鏈連接起來，就可以擺脫以往單臺光刻機的生產模式，轉為流水線生產，根據不同的精度需求，大規模生產各類精度的光刻機，就能把光刻機，甚至芯片價格打下去，你們覺得怎么樣？”
“嘶～”
現場技術領域的領導立刻竊竊私語起來。
“多條路，就多種選擇，大膽去試，放手去干，我們永遠是你們的堅實后盾。”
沙領導拍了下陸飛的肩膀。
“是，領導！”
陸飛語氣里夾著一絲興奮。
“《科技日報》最近總結了35項制約我們制造工業的卡脖子技術，不知道你有沒有看到？”沙領導往工廠外走去。
“看了。”陸飛立刻跟上。
“有什么感想？”沙領導追問。
“看上去是35項，但實際情況并不對，有很多項目已經被邏輯攻克了，比如航空設計軟件、EDA設計軟件、觸覺傳感器…”
陸飛如實說：“有的正在被攻克，像激光雷達，我們就在為未來的智能駕駛系統量身定制商用級的激光雷達。”
“我知道伱和邏輯這些年明里暗里已經做了很多，但這些都不是關鍵。”沙領導語氣認真道，“芯片才是重中之重，畢竟電動汽車、人工智能這些個領域，都離不開芯片。”
“如果真地卡脖子，也許暫時會是華夏半導體產業的黑暗，但長遠老看，何嘗不是我們國產半導體崛起的機會？”
陸飛不以為然。
想徹底圍堵華夏芯片的發展，但是卻給了國產一個機會，當“國產替代”形成了風潮，華夏半導體就會爆發巨大的潛能。
邏輯多年的布局，就能迎來真正的風口！
從光源系統到物鏡系統，從浸沒系統到雙工作臺研發，從光刻膠到光掩模版，從光刻機缺陷檢測設備到涂膠顯影設備，不管是核心組件，還是配套設施，國產的都將慢慢起飛。
“說得好。”
沙領導笑道：“對了，你剛剛說安裝調試光刻機需要一年，那么再加上制造，豈不是一臺光刻機到真正投產，時間會超過一年？”
陸飛點了下頭，“對，所以我們現在加班加點地趕制，爭取對邏輯和華為動手之前，能多造幾臺就多造幾臺。”
鄭韓問道：“如果現在邏輯和華為就出現中興斷供的局面，你們又該怎么辦呢？”
“即使高通和其他供應商不向我們出售芯片，我們也不怕，邏輯早就預料到會有這么一天，已經提前做好了備胎計劃。”
“備胎計劃？”
舊金山，黃金豪宅。
“媽媽，為什么爸爸這么久都沒有來看我們？”混血的陸洋躺在床上，眨了眨眼睛。
“他很快就會來看我們的。”
伊凡卡一把拉上窗簾，走到床沿坐下，捧著兒子的額頭親吻了一口，“睡吧。”
“晚安，媽媽。”
“晚安。”
看到他合上眼，伊凡卡關掉床頭燈，輕手輕腳地退出臥室，笑容立刻消失。
就在此時，手機里收到了短信。
一下子，直奔書房，里面的裝修沒有變化，依舊保持了陸飛當初的設計，來到電腦前，就見《華盛頓郵報》、《紐約時報》等多家媒體已經報道了對邏輯和華為的制裁——
邏輯和華為正式加入到清單！
美利堅供應商集體斷供！
“終于來了！”
伊凡卡興奮不已，雖然自己知道陸飛絕對不會輕易地求饒，也不會像中興那么容易對付，但又如何？無非是抵抗的時間長點而已！
早晚，都得像中興一樣，乖乖來美。
一念至此，她拉開最下方的抽屜，暗格里藏著一把鑰匙，余光瞄了眼角落不起眼的小房間，推門而入，打開燈光，一道道曖昧的粉色和妖嬈的紫色交織在一起，照亮四周。
墻壁上掛著許多玩具和cosplay服裝，該死的記憶立刻涌現而出。
伊凡卡又想起了在這里的點點滴滴，隨手取出一根散鞭，對著空氣狠狠地揮舞了兩下。
頓時間，一聲聲破空聲乍響！
緊接著，鞭子落在綁在十字架上的布偶身上，就見臉部貼了張“陸飛”的肖像照片。
“啪啪啪！”
“為什么不來美利堅！”
“難道我這個第一女兒，下嫁你個世界首富吃虧了嗎？我們兩個的結合，明明對誰都有利，甚至有希望成為oldmoney的一員！”
“陸，你個混蛋！”
“為什么你在美利堅，只留下這么點不動產給我和孩子，就連勇士隊的股份也舍不得給我？！”
伊凡卡像怨婦一樣，不斷狂舞著鞭子，仿佛眼前的“陸飛”布偶就是活的一樣，宣泄心中的不滿，特別當她想到陸飛持有的奈飛、蘋果、亞馬遜、特斯拉等美股竟然沒她的份。
而且也沒有她孩子的份！
但顯然完全忘了陸飛留給她的傳媒集團，可是囊括了電視臺、報紙、電影、流媒體、漫畫、主題公園和度假村、周邊衍生品…
更別提，臉書、推特、SpaceX的股份。
“等你來美利堅，有你好看的！”
“以前在這里怎么對我，我就怎么對你！”伊凡卡氣喘吁吁，打得滿臉是汗。
盡興之后，才重新封閉小黑屋。
“呼～”
伊凡卡把鑰匙放回暗格里，正準備關閉電腦，就見推特上帶著“邏輯”字樣的沖上熱搜。
赫然是邏輯官宣，備胎計劃，啟動！
“備胎”一夜之間全部“轉正”！
(本章完)