713 搞出光刻機,挺直腰桿子
“狼煙起，江山北望…”
酒店里，喝到爛醉如泥的高媛媛被手機鈴聲吵醒，迷迷糊糊地抬頭找了找，聲音來自床頭柜上的手機，但手機的主人，不見蹤影。
“阿飛。”
高媛媛強撐著下床，走路綿軟無力。
“我在這兒。”
陸飛打開浴室的大門，坦蕩地沖她笑了下，接過手機，“喂、欣姐。”
高媛媛洗了把臉，然后脫掉衣服，走進淋浴間沖洗自己，流水聲嘩嘩作響。
“好，好，10點我就出發。”
陸飛坐在浴缸里，悠悠道：“欣姐，TVB這邊，就麻煩你陪媛媛處理了。”
高媛媛聽到這話，精神大振，豎起耳朵。
“…歐洲那邊，不用擔心，我已經讓布洛森24小時盯著，任何風吹草動都要匯報。”
陸飛抹了一把臉。
希臘的國債評級又被惠譽和標準普爾下調，降到了垃圾級，已經到了必須歐盟兜底的地步，終于把債務危機擴散到整個歐元區。
收割歐洲的時刻，馬上就要到了！
等兩人聊完掛斷電話，高媛媛才走出玻璃隔斷，幽幽說：“阿飛，我今天就不送你去機場了，唔，有點不舒服。”
“誰讓你昨天喝了那么多酒。”
陸飛抓著她的手，拉入浴缸里。
心疼之余，不得不感慨高媛媛醉得真是時候，而且還不省人事，要不然也不能給自己創造機會，夜里能跟曾麗單獨慶祝封后之喜。
大滿貫最好的獎勵，自然也是大滿灌。
”下次不會了。”
高媛媛意味深長地白了眼，“曾麗姐她們有沒有跟你說今天坐你的飛機去鵬城。”
“說了…嗎，我怎么不知道。”
陸飛一個激靈。
“那我現在跟你說，你不會介意吧？”
高媛媛得留下來，跟徐欣完成TVB最后的收購簽約儀式，楊蜜、景恬則繼續自己的好萊塢征程，而曾麗、劉師師她們回內地。
“怎么會。”
陸飛笑道：“不過我聽說師師拍完《步步驚心》之后，狀態不對，有沒有這回事？”
“蜜蜜、恬恬她們跟你說的吧。”
高媛媛點了下頭，“師師可能陷進角色里還沒有出來，對吳奇龍的感情有點復雜。”
“這可不符合我們‘四小花旦’的造星計劃。”陸飛一本正經地說。
“放心吧，虹姐已經警告過吳奇龍團隊。”高媛媛靠在他的懷里，“早餐叫了嗎？沒有的話，吃了再走吧。”
“當然吃了再走，不過呢，先吃你！”
陸飛嘿然一笑，“把昨天的夜宵補上。”
“嗚嗚嗚～”
跟曾麗她們暫時分別，陸飛坐上車，馬不停蹄地趕到邏輯，孫紅軍早就在門口等候。
“他們人呢？”
“陸總，都在中心呢。”
一行人驅車來到僻靜的三體實驗基地，沿途布滿了安保人員，路的盡頭是一間占地上萬畝的新建廠房，表面看上去，非常不起眼。
一下車，來到換裝間，陸飛就看到已經穿著防塵服的梁孟松、尹志堯，以及職工。
蘇姿豐、胡煜華、孟婉舟這些邏輯的上將，即便半步踏入輪值董事會，也沒有資格第一時間參觀，消息還封鎖在最高統帥部一級。
“陸總。”
梁孟松、尹志堯等人喊了一聲。
“走吧。”
陸飛換好裝備，穿過走廊，墻壁上掛著華夏第一枚原子彈跟氫彈的當天報紙和照片。
頭頂，懸掛著一條條橫幅，都是激勵士氣的口號語，其中最顯眼的莫過于——
“搞出光刻機，挺直腰桿子！”
“陸總，這就是我們自主研發的65nArF干式光刻機，由邏輯、滬市微電子、長春光機、華為等多家單位、上千家供應商聯合攻克，下一步就是預生產，在生產中不斷改進完善，然后逐步實現量產化。”
孫紅軍興奮至極，“預計一到兩年，就能全部替代掉ASML和尼康的65n光刻機。”
“還是自己的機器香啊！”
陸飛透過玻璃，看著工作人員有條不紊地操作，余光里注意到尹志堯等人的情緒很不對勁，“這么難得的好日子，你們怎么看上去不是很高興啊，難道是光刻機還有什么質量上的問題，或者技術上的缺陷？”
“陸總，設備沒有問題，技術也沒有問題，就是…就是有一個壞消息…”
尹志堯一臉為難。
“什么壞消息？”
陸飛鼓勵道：“沒關系，說出來，不說出來，我們又怎么想辦法解決呢？”
“陸總，ASML研發出了全球第一臺EUV光刻機，已經送到三星的研究機構預生產。”
尹志堯無奈地嘆了口氣。
“你看你，又急。”
陸飛挑了挑眉，倍感意外，這么湊巧！
EUV光刻機的出現，相當于光刻機技術和設備正式發展到第五代，遙遙領先于他們。
第一代光刻機是以436n的gle汞燈光源為主，只適用于5μ以上制程。
之后出現了365n的ile汞燈光源的第二代光刻機，制程精度來到了350到500n。
這兩代都只能算是接近式光刻機，到了第三代掃描投影式光刻機，才實現了跨越式的突破，把最小工藝推進至150到250n。
他們生產的65nArF干式光刻機，算是第四代，也就是步進式投影式光刻機，制程工藝最高可以推進到65n，想要更上一層——
就得用到浸入技術，也就是讓鏡頭和硅片之間的空間浸泡于液體之中，在此基礎上，就有了四代半的浸入步進式投影式光刻機。
本來，邏輯跟ASML這些國際一線的光刻機廠商，就只剩ArFi這么個半代差距。
但EUV光刻機一出現，又把這個差距拉到了至少1.5代，而且這個技術差距，不像制程工藝那么好追，是整個產業鏈的全面落后。
“不是我急，陸總，一旦EUV預生產成功的話，英特爾、三星、臺積電也許不出三五年，就能得到EUV光刻機的生產線…”
尹志堯話里無不透著焦慮。
“尹教授，這臺EUV，ASML、三星、英特爾、蔡司、臺積電它們花了多久才研制出來？”陸飛透過面罩的玻璃，直直看去。
“從林本堅提出浸潤式微影技術的理論，到現在，大概十三、十四年。”
梁孟松站出來回答。
“對嘛，這不就結了。”
陸飛拍了拍尹志堯的肩膀，“EUV集歐美日韓這么多全球最頂尖的半導體公司和人才，也要花13年的時間，何況是我們呢！”
“陸總說的沒毛病！”
孫紅軍機敏地當捧哏。
“咱們研究起步晚，技術經驗積累少，人才還不夠不精，再加上特么的技術封鎖，能在這么短的時間，攻克65nArF干式光刻機，就已經很不正常了，再快就該拍科幻片了。”
陸飛笑道：“落后不可怕，可怕的是不追趕，你看我們現在，已經步入正軌了。”
“可不是嘛，快趕上小霓虹了！”
孫紅軍嘿然一笑。
就像霓虹在新能源上梭哈錯了氫能，在光刻機路線上，不去梭哈濕刻法，而是全力押注干刻法，卻失敗了，白白耗費人力財力時間。
今后，邏輯的光刻機就可以跟尼康、佳能競爭低端光刻機市場，先干翻了小霓虹！
“所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先別急，ArFi會有的，EUV也會有的！”
陸飛環顧四周，激勵士氣。
“陸總！”
尹志堯鄭重地點了下頭，他作為中微半導體的領軍人，非常清楚邏輯是兩條腿走路，既跟微電子為首的單位合作ArFi光刻機，又跟長春光機為主的科研所研究EUV光刻機。
而且滿世界找幫手，比如徠卡。
“老孫，這次的獎勵方案做出來了嘛？”
陸飛側目望向孫紅軍。
“已經擬出個初步方案，就等您來定。”
孫紅軍應了一聲。
“嗯，但凡這次參與光刻機項目的，哪怕是擰了個螺絲的，也要多發獎金！”
陸飛雙手叉腰，“65n有了，還怕沒有ArFi？沒有EUV？接下來我們就向32n、28n，甚至28n以下的發起沖擊，不管是10年、20年，還是多長時間，也要搞出來！把這顆工業明珠給我摘下來，當彈珠賣！”
“我就是怕耽誤了先進制程工藝的進程，畢竟我們買不到最先進的DUV光刻機。”
尹志堯臉上露出一絲愧疚。
“梁博士，你的意思呢？”
陸飛把目光投向梁孟松。
“陸總放心，難度肯定是有的，但我可以保證，32n，今年下半年就能風險性試產。”
梁孟松話鋒一轉，說出難題。
芯片代工制造的過程非常復雜，需要多方面的技術和設備支持，就像14n是個關鍵的分界線，28n也是個關鍵的分界線。
但設備還不是他最擔心的，他最擔心的是中芯被臺積電打倒之后，下一個就輪到邏輯。
“這種情況我不是沒有考慮。”
陸飛擺了擺手：“所以才把邏輯、澎拜的三分之一的產能放在臺積電，就是讓章忠謀顧慮，既想對付我們，又怕失去我們的訂單。”
“可按我對章忠謀的了解，肯定不會善罷甘休。”梁孟松憂心道，“另外還有三星…”
陸飛笑道：“梁博士，三星現在的技術負責人還是蔣尚義，哪怕拿到了EUV光刻機，你覺得他有這個能力帶領三星沖擊制程嗎？”
“沒有！”
梁孟松想也不想，“沒這個可能！”
“對嘛，就連40/45n工藝，三星還是靠我們，很難說不會又在一個節點上卡住，難以突破。”陸飛嚴肅說，“這么一比，臺積電才是我們最大的敵人！不管現在，還是將來！”
“臺積電那邊計劃今年過渡到32n，然后最早在明年轉向28n，我們的進度并不比臺積電慢。”梁孟松自信滿滿。
“梁博士，假如，我是說假如，假如沒有最先進的代工廠給邏輯造芯片，假如邏輯還造不出比較先進的光刻機，假如…”
陸飛把前世華為遭到的打壓說了一遍。
“陸總，這種極限施壓情況下，也不是沒有辦法，可以考慮多重曝光技術。”
梁孟松沉吟片刻，一一列出優缺點。
尤其是缺點，雖然經過多重曝光工藝，可以改變光刻機的制程極限，但良品率低。
而且每次曝光都需要校準，而對準誤差會在多次曝光中積累，進而影響芯片的質量。
“除了損耗，就是成本，多次曝光需要更多的光刻膠、耗材和設備，這個投入可能…”
不等梁孟松往下說，孫紅軍突然打斷。
陸飛和他相視一笑，光刻機的光刻膠等材料，早就納入備胎計劃。
“梁博士、尹教授，我們已經投資了博康化學等十幾家公司，研發攻克光刻膠這些重要材料。”孫紅軍笑說，“而且找了德國的明斯特、亞琛工業等多家高校，跟我們國內的科研院校，合力打破霓虹這方面的優勢。”
“啊？”
梁孟松和尹志堯面面相覷。
“這是公司的絕密，注意保密。”
陸飛鄭重地叮囑，現在需要偷偷摸摸地發育，特別是光刻機，最缺的就是發育時間。
“陸總，孫總，你們放心！”
梁孟松信誓旦旦地保證，就算臺積電、三星的光刻機領先邏輯，哪怕制程工藝先突破28n，甚至20n也無妨，他能想辦法從28n，跨越22n、20n，直接到14n。
把因為光刻機設備和技術封鎖而落后的代差跟時間，統統給追回來！
“是不是又要跳代？”
陸飛把眼睛瞇成一條縫。
梁孟松點頭說：“只要尹總能造出28n光刻機就夠了，別是14n，就是7n，我也能你們給搓出來！把光刻機上的劣勢給扳回來！就是不知道陸總敢不敢再跟我拼一次？”
“有什么不敢？”
“拼，只管給我拼！不要給我心疼錢，我最不怕花錢，但最怕你們不花錢。”陸飛睨了眼孫紅軍，“老孫，除了德國，霓虹那邊也盯緊點，特別是佳能、尼康的動靜。”
“尼康那邊好像認命了，倒是佳能，選擇了另一條道路，研究納米壓印（NIL）。”
孫紅軍也說不出個所以然。
陸飛讓他再探再報，跟進佳能的NIL路線，然后冷不丁來一句，“光刻廠有沒有搞頭？”
“什么？！”
梁孟松等人一臉震驚。
光刻廠？
只聽過光刻機，光刻廠是什么東西？
“咳咳，我是這么想的，ASML的光刻機，為了賣出去，才要小型化、產品化、量產化，這個難度很大，但如果我們把光刻機不做小，而是當基礎設施來蓋，比如一個足球場大小，是不是可以彌補光源、鏡片這些問題？”
陸飛看他們一臉茫然，于是換種說法。
相當于造不出熱水器，就建個鍋爐房，然后接水龍頭，一次性接十幾個，能放出428n、14n、7n這些不同溫度的水。
“這個提法，我好像在哪里聽過…”
梁孟松吸了一口氣，思索了片刻，突然靈光一現，“對，水木！水木大學有篇論文！”
“真有？”
孫紅軍、尹志堯簡直不敢相信。
“不過只是一個概念，叫穩態微聚束加速器光源，也叫SSMB。”梁孟松解釋說，“我關注這個，還是因為提出這個概念的教授，是楊振檸先生的弟子，可行性還有待檢驗。”
“只要有可能，就值得投資。”
陸飛計劃去趟水木大學，順便把自己存那里一直沒時間取的EMBA碩士證書給領了。
“陸總，在這之前，我們是不是先去見見章汝京？章總一直在等您從香江回來。”
孫紅軍提醒了句，年初中芯跟臺積電長達六七年的國際訴訟，達成和解，但作為條件之一，章汝京不得不被迫辭職，離開中芯。
“E，見，必須見！”
陸飛叮囑安排兩人見面的行程計劃。
有個項目，非他這位老帥不可！