這種DNA加工納米圖形的方法叫做DNA投影納米印刷術,也可以叫做DNA模板印刷術。
這種方法可以利用DNA為模板來定義基片圖案。
原理是把DNA在基片上排列整齊,再在上面沉積一層金屬膜。
DNA分子起納米蠟紙的作用,這樣來便在基片上定義了一些小于10納米的圖案。由于金屬膜以一定角度沉積,DNA分子的投影便定義了基片上的圖案。
接下來再使用等離子體刻蝕機對圖案表面進行刻蝕,便可以在基片上便可得到納米尺寸的溝槽。
這樣就正好繞開了光刻步驟!
光刻機在芯片生產中很重要,但是它的作用其實很簡單。
光刻機在芯片生產中的作用就是通過光源與基片上面的光刻膠發生反應,使得照射部分的光刻膠變質,易于腐蝕,從而在光刻膠上面“畫”出電路圖案。
接下來便可以把變質部分的光刻膠腐蝕掉,然后再對晶圓本身進行腐蝕,從而形成半導體器件及其電路。
也就是說光刻機起到的只是一個定位的作用,真正的電路形成還是得看刻蝕!
而現在這個定位的作用可以由DNA模板來完成!
如果按照這種技術思路走下去,那未來的碳基芯片制備就是走化生的方式,完全是從各種溶液里面泡出來。
因為除了碳納米管,類似像金屬,氧化物等納米材料也可以用DNA工具進行生長,搭建,組裝。
由此可見直接從溶液里面把碳納米晶體管泡出來,再組裝到芯片上來的情況也不是不可能。
而且這種技術也符合陳神的需求,只有這種可以擺脫光刻機加工的新技術,才有可能在當前滿足綠洲系列碳基芯片的生產加工。
最關鍵的是,陳神還真在系統提供的加工資料里面找到了對應的DNA模板印刷術!
系統的技術資料極其齊全,有碳基芯片生產的所有環節,其中這個制造納米圖形的環節,生產工藝不僅有光刻技術,還有DNA模板印刷術。
這說明在系統的推算下,不僅光刻機可以用來制造碳基芯片,DNA模板印刷術也一樣可以!
這兩者的作用的確是等同的。
而且跟以往一樣,系統提供的DNA模板印刷術比起目前的水準還要高上幾個世代,完美解決了這項技術在碳基芯片生產上的應用問題。
連帶著其他如碳納米管提純、碳納米管組裝排列技術等等步驟的工藝也同樣要領先當前好幾個世代。
不過這些技術都沒有完全超脫當前的理論基礎,更像是現在的技術理論發展了幾十年之后的樣子。
陳神把光刻和DNA模板印刷這兩種工藝仔細研究,很快就對比出兩種方法的差別。
使用光刻機的話,最大的好處就是方便,基本上可以直接使用現在硅基芯片使用的光刻機。
而使用DNA模板印刷術,則需要為這種工藝特別建立起一條供應鏈。
不過這種工藝最大的一個好處就是生產方便,對生產環境要求比光刻機要低至少一半,也無需在暗室中進行。
而且想使用這種技術制造更高精度的納米圖形,難度也比研究升級一臺光刻機要容易。
至少對于陳神來說是這樣的…
到了這個地步,碳基芯片的生產工藝他已經弄明白了,那接下來就要走下一步了。
接下來的幾天時間里,陳神都坐在電腦面前,用腦機裝置控制電腦寫著自己關于碳基芯片的新技術方案。
只要這個技術方案出世,碳基芯片從研制到生產上面的理論問題,他也就基本解決了,再然后就是產業化的問題了。
不過到了那個地步就不是他要考慮的事情了。
他這種科學家在這種技術投產的問題上面起不了什么作用,這種事情得讓棱角科技和大勝工業來進行。
窩在房間里面一個多星期,時間已經到了五月下旬,陳神才拿著自己的方案走出房間。
看著外面藍藍的天空,再感受樹蔭下基地海邊吹來的涼爽海風,很是讓人心情舒暢。
之前待在宿舍里產生的負面情緒,一下子就被海風帶走,如果這里沒有被封鎖,那么應該也是一處讓人心曠神怡的風景圣地。
在基地里面漫無目的地閑逛了一會兒,心情得到了放松,陳神才帶著手上的方案去了王倩的辦公室。
“倩姨?”陳神敲了敲門,里面很快就響起了應答聲,他這才推門進去。
在辦公桌后面,王倩還在噼里啪啦地敲著面前的鍵盤。
陳神一時間都忍不住替那個鍵盤心痛,心里想著要不要也弄一套腦機裝置送給倩姨,好讓她的鍵盤過一個安穩的后半生,為基地省下一點辦公費用的同時,還可以提升一下倩姨的辦公效率。
“你今天過來想必又是有了什么突破?”王倩這時候突然從電腦屏幕的一邊探出頭來看了他一眼,馬上就看到了他手上的硬盤。
“那當然有啊!”陳神笑了笑,他話音未落,王倩頓時就停下了對鍵盤的敲擊,把電腦屏幕熄滅,來到待客區這里,坐到他的對面。
“我猜是碳基芯片?”王倩看了一眼他手上的幾個硬盤猜測道。
“嗯嗯,沒錯,你看一下吧。”陳神點頭,把自己面前的硬盤統統推到王倩面前。
王倩拿起其中一塊,看了一眼上面的標記,上面是自己看得懂但是看不明白的漢字,干脆放棄從硬盤上面獲取信息,直接問道:“你在這項技術上面取得了什么突破?”
陳神說道:“從你給我的資料來看,國內的碳基芯片技術已經達到了初步的產業化生產標準,所以我只是針對這些工藝進行了一些改進。”
王倩認真傾聽,手上的錄音筆已經打開,隨時記錄著。
“接下來我需要圓明園職院那邊的團隊幫我做一下實驗,對我的這些想法進行驗證,如果沒有問題的話,就可以開始研究生產設備,考慮產業化的事情了。”
陳神的話到此為止。
王倩想了想問道:“那就是說你的方法也是可以產業化的了?如果按照你的方法進行生產的話,最高可以生產什么規格的芯片?”
對于這個問題,陳神想了想,“這里面有我對于14納米碳基芯片的一些生產設想,如果沒有問題的話,自然也是可以實現14納米制程的碳基芯片生產。”
王倩點點頭,雖然有些驚訝,但還是暗自記下14納米這個細節。
她自然知道這個技術如果真的能實現,那簡直就是一場芯片行業的大變革,只不過面對陳神拿出來的成果,她已經升不起太多的情緒了。
習慣是一種強大的力量…
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