第391章 那些光刻機的往事

　　沙瑞勒·內維爾喝著手里拿著的咖啡，看著電腦新聞網站，最近那鬧的沸沸揚揚的到底誰抄了誰的新聞.

　　搖了搖頭，笑著把電腦上相關的網頁全都關閉了。

　　這東西，誰抄誰有什么好爭的，誰先生產出來，誰先申請專利，那就是誰的，國際上不都是這么操作的嗎？這些媒體也無聊，這東西也有什么值得爭的？

　　從視頻上來看，那個華國的騙子不就隨便弄了點軟件在電腦上運行了一下而已，而這邊米國的腰子科技公司，連樣品都拿出來了，要知道，兩個月不到的時間可不能把那些說出來的科技與系統上的設想完善，這么一對比。

　　那誰抄誰的不是一目了然嗎？

　　再說了，華國有這種科技實力，研發這么高級的東西嗎？

　　他們不一直喜歡偷買一些別人家的產品，把上面的LOGO打磨掉冒充自家的產品嗎？

　　“哼——”

　　還是自家的產品好——光刻機。

　　這種高端的東西，就算華國的那些垃圾如何想來碰瓷都不行，這就是人類歷史最頂級的科技與技術，讓那些想碰瓷垃圾感到絕望。

　　沙瑞勒·內維爾他是A斯麥公司，下一代產品的項目總工程師。

　　得益于，灣積電一個叫做林奔堅的鬼才工程師出現了，讓A斯麥押注的沉浸式光刻機成功的使得原有的193nm激光經過折射，直接越過了157nm的天塹，降低到132nm。

　　把原本世界上的光刻機霸主，櫻花的N康與J能踩在了腳下。

　　當然，如今幾者差距還不算大。

　　A斯麥，還在小心翼翼，加大科研的投入。

　　想要把這個差距擴大。

　　擴大到讓全世界都死心的地步。

　　為此，這家公司，受到了全歐洲最大的科研經費的投入。

　　如今的人均科研經費甚至排在了全歐洲第二位，遠高于其他企業，甚至是軍工企業。

　　從這點上便可以看出，整個歐美對這項技術的支持。

　　不過想起了，櫻花。

　　沙瑞勒·內維爾也只是微微的為他們惋惜了一陣而已。

　　身為項目內的人員，他更清楚這些年因為光刻機，歐米這邊所干的陰暗往事。

　　其實，造成如今這一切的并不止是簡簡單單兩千年初踏錯了干刻濕刻之分。

　　更像是一場有預謀的陰謀。

　　早于1997年，在米國政府一手干預下，尼康被EUVLLC排擠在外時，這已經注定了如今光刻機市場A斯麥一家獨大的結局。

　　前面提到，當年為了嘗試突破193nm，英特爾更傾向于激進的EUV方案，于是早在1997年，歐米那邊就聯合起來成了了一個叫EUVLLC的聯盟。

　　聯盟中的名字個個如雷貫耳：除了Y特爾和牽頭的M國能源部以外，還有M托羅拉、AMD、IBM，以及能源部下屬三大國家實驗室：L倫斯利弗莫爾國家實驗室、S迪亞國家實驗室和L倫斯伯克利實驗室。

　　這些實驗室是米國科技發展的幕后英雄，之前的研究成果覆蓋物理、化學、制造業、半導體產業的各種前沿方向，有核武器、超級計算機、國家點火裝置，甚至還有二十多種新發現的化學元素。

　　于是，資金到位，技術入場，人才云集，但偏偏聯盟中的米國光刻機企業SVG、Ultratech早在80年代就被尼康打得七零八落，根本爛泥扶不上墻。

　　本來英特爾想拉來尼康和A斯麥一起入伙，并不想A斯麥一家獨大。

　　但問題是，這兩家公司，一個來自櫻花，一個來自何蘭，都不是米國本土企業。

　　而偏偏，米國政府又將EUV技術視為推動本國半導體產業發展的核心技術，并不太希望外國企業參與其中，更何況八十年代在半導體領域壓了米國風頭的櫻花，甚至可以這么說，如今的華國有多想要光刻機，當年的米國就多想要光刻機。

　　光刻機又幾乎逼近物理學、材料學以及精密制造的極限。

　　光源功率要求極高，透鏡和反射鏡系統也極致精密，還需要真空環境，配套的抗蝕劑和防護膜的良品率也不高。

　　別說櫻花與何蘭，就算是米國，想要一己之力自主突破這項技術，也是癡人說夢。

　　米國自然不會想讓櫻花投誠然后，繼續扼住米國半導體咽喉的機會。

　　于是在一份提交給國會的報告之中，專家明確指出“尼康可能會將技術轉移回櫻花，從而徹底消滅米國光刻機產業”。

　　櫻花是敵人，但何蘭還是有可能發展成自家的“漂亮國好同志”。

　　當得到這個消息，何蘭A斯麥，第一時間就表示了自己誠意，同意在米國建立一所工廠和一個研發中心，以此滿足所有米國本土的產能需求。另外，還保證55的零部件均從米國供應商處采購，并接受定期審查。

　　一見小弟這么給力，米國那邊直接不要臉了，

　　開啟了更為厲害的騷操作。

　　廣場協議，櫻米半導體協議，直接加增100的關稅等等一系列損招全都用了出來。

　　可櫻花只能含淚，牙齒掉了往肚里咽，全都答應了下來，沒辦法，自家老窩都在別人的炮管之下，那有它蹦跶的份，不過這也讓櫻花心里其實是憋了一口老血想噴的。

　　最終，米國能源部和A斯麥達成了協議，允許其加入EUVLLC，共同參與開發，共享研究成果。

　　之后的六年，EUVLLC的研發人員發表了數百篇論文，大幅推進了EUV技術的研究進展，割地求和的A斯麥雖然只是其中的小角色，但也有機會分得一杯羹。

　　分享技術只是一方面，收購走后門其實也是米國送給A斯麥的一份大禮。

　　之后米國的Cymer公司研發出EUV所需的大功率光源，成為A斯麥的供應商，更在四年后以25億美元高價直接被阿斯麥并購。

　　別忘了，這可是光刻機的核心零件，這樣頂尖的技術，全球范圍也不超過三家。

　　毫不夸張的說，A斯麥雖然是一家何蘭企業，但崛起的背后，其實是一場地地道道的米國式成功。

　　錯而失EUV關上了尼康光刻機的大門，加上諸多盟友的背叛則徹底焊死了尼康想要突圍的出路。

　　說實話，當年的英特爾為了防止核心設備供應商一家獨大，其實還是挺想帶著尼康一起玩的。

　　32nm工藝制程時甚至獨家采用尼康的光刻機，而之前的45nm，之后的22nm，也都是尼康和A斯麥同時供貨。就連在2010年的LithoVision大會上，英特爾還宣布將一直沿用193nm沉浸式光刻至11nm節點。

　　但備胎終究是備胎，一轉身，英特爾就為了延續摩爾定律的節奏，巨資入股A斯麥，順帶將EUV技術托付。

　　另一邊，相比一步步集成了全球制造業精華的A斯麥，早年間就習慣單打獨斗的N康在遭遇米國封鎖后，更是一步步落后，先進設備技術跟不上且不提，就連落后設備的制造效率也遲遲提不上來。

　　當年，相同制程，A斯麥宣稱“每小時可加工175～200片晶圓”，而尼康的數據是“每小時200片”。

　　但果真如此嗎？這背后涉及到了一個叫做稼動率的制造業名詞。簡單理解為一臺機器設備實際的生產數量與可能的生產數量的比值。

　　使用A斯麥的設備，三星與臺積電的稼動率常年維持在95上下.

　　而這邊尼康，被迫自研，什么零件都要自己做，但什么東西卻總有是差點意思。

　　導致同一批次的相同設備，每一臺的性能都不盡相同。

　　簡單來說，就像買了二十臺手機，這臺只能發微信，那臺只能刷視頻，另一臺開網頁…

　　設備雖便宜，但稼動率最多只能達到50左右，對晶元代工廠來說，實在不劃算。

　　因此，英特爾新CEO上任后，立刻拋棄了尼康，甚至后來就連大陸的芯片代工廠都看不上N康的光刻機，就可想而知，N康的發展有多么的沒落，最終N康只能慢慢退出芯片光刻。

　　生產出的設備，只能賣給S星、LG、J東方，用來生產面板。

　　這邊舊人哭，那邊新人笑，2012年，Y特爾連同S星和灣積電，三家企業共計投資52.29億歐元，先后入股A斯麥，以此獲得優先供貨權，結成緊密的利益共同體。

　　站在EUVLLC的肩膀上，背靠米國支持，又有客戶送錢，A斯麥自此正式成為“全村人的希望”，在摘取EUV光刻機這顆寶石的道路上，一路孤獨的狂奔。

　　終于，在2015年，第一臺可量產的EUV樣機正式發布。

　　正所謂機器一響，黃金萬兩，當年只要能搶先拿到機器開工，就相當于直接開動了印鈔產線，EUV光刻機也因此被冠上了“印錢許可證”的名號。